SEMICON JAPAN
2025年11月14日（金）
東京
会期
2025年12月17日（水）〜19日（金） 3日間
会場
東京ビッグサイト
ブース位置：東4ホール E4732
出展製品
・Panel FOUP ロードポート
・Panel 搬送AMRシステム（参考出展）
・Tape Frame FOUP ロードポート（SEMI E63、 E184、Taiwan & Korea モデル）
・Tape Frame アライナ
・300mm EFEM
・N2パージ 300mm FOUP ロードポート
・300/200mm 自動切換え機能搭載ロードポート
・200mm SMIF ロードポート
・300mm 真空搬送ロボット
Panel FOUP ロードポート
Tape Frame FOUP ロードポート
300mm EFEM
200mm SMIF ロードポート