クリーン搬送システム(半導体)

200mm SMIFロードポート

200mm

300mm BOLTS-M取付に完全互換、自動化をサポート

SELOP-08 シリーズ

200㎜生産ラインの自動化で 高い生産効率を実現!

  1. SMIF自動搬送に対応
  2. SEMI E63 BOLTS-M取付に対応
  3. 高性能/高信頼性の制御系搭載
  4. 8連インジケータ採用
  5. マッピング機構搭載

フロー

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東京本社 クリーン搬送システム営業部(半導体)
TEL 03-5473-1838
FAX 03-5473-1847