クリーン搬送システム(半導体)

300/200mm 自動切り替え機能搭載ロードポート SELOP-8

300mm

200mm

ウェーハサイズの混在ラインに最適!!

SELOP-08C12F-S81 シリーズ

300mm FOUPと200mmオープンカセットアダプタを載せ替えるだけで使用可能!

  1. キャリア自動識別機能付き
  2. マッピング対応
  3. ウェーハ飛び出しセンサ搭載

2種類のオープンカセットアダプタ

実績多数

チルト式オープンカセットアダプタ

低コストモデル

平置き式オープンカセットアダプタ

オペレーションフロー

仕様

搭載対象LP SELOP08C12F-S81 シリーズ
外形寸法 W474mm x D547mm x H1381mm(ロードポート)
W455mm x D300mm x H432mm(チルト式200mmOCA)
W430mm x D315mm x H373mm(平置き式200mmOCA)
重量 65kg(LP)
13.2kg(チルト式200mmOCA)
8.5kg(平置き式200mmOCA)
  200mmウェーハ対応時 300mmウェーハ対応時
適用キャリア 200mm25枚 カセット
(SEMI 規格準拠品)
300mm25枚FOUP
(SEMI 規格準拠品)
動作サイクル 開動作:11秒(マッピング動作含む)、
閉動作:7秒(マッピング動作不含)
開動作:12秒(マッピング動作含む)、
閉動作:9秒(マッピング動作不含)
ドア保持 真空吸着方式 真空吸着方式
検出機構 ①カセット正常載置
②ステージ正常位置検出
③ウェーハマッピング
④ウェーハ飛出し(1段階)
⑤手挟み防止
⑥首挟み防止
①FOUP有無
②FOUP正常載置
③FOUPドア確認
④ウェーハマッピング
⑤ウェーハ飛出し(3段階)
⑥手挟み防止
⑦首挟み防止
標準機能 ①マッピング機能
②コントローラ内蔵
③キャリアベース位置調整機構
④BOLTS面位置調整機構
 
⑤カセット横滑り防止機構
⑥300mmFOUP対応インフォパッドピンホルダ
⑦ウェーハ水平位置でのステージ固定機構
⑧ステージセット時、ドック時のウェーハ振動防止機能
ユーティリティ ①電源:DC24V 5A
②エア:0.45~0.6 MPa 20 L/min
③真空エア:-40kPa 5L/min
インターフェース 通信 RS232C
オプション ①ユーザー特定インジケータパネル
②ユーザー特定スイッチパネル
③AC200V対応
④FOSB※1対応
⑤Ethernet※2通信仕様
⑥E84対応
⑦E84,CID通信対応(300mmFOUPのみ)
⑧フレームパッキン仕様

1. 使用するFOSBによって、開閉特性が異なります。詳細はお問い合せ下さい。
2. Ethernetは、米国Xerox Corp.の登録商標です。

外形寸法図

Information

お電話でのお問い合わせ

営業日 平日9:00〜17:30 土日祝除く

製品に関するご質問・お問い合わせなど、お気軽にご連絡ください。

東京本社 クリーン搬送システム営業部(半導体)
TEL 03-5473-1838
FAX 03-5473-1847