300/200mm 自動切り替え機能搭載ロードポート SELOP-8
300mm
200mm
ウェーハサイズの混在ラインに最適!!
SELOP-08C12F-S81 シリーズ
300mm FOUPと200mmオープンカセットアダプタを載せ替えるだけで使用可能！
- キャリア自動識別機能付き
- マッピング対応
- ウェーハ飛び出しセンサ搭載
2種類のオープンカセットアダプタ
実績多数
チルト式オープンカセットアダプタ
低コストモデル
平置き式オープンカセットアダプタ
オペレーションフロー
仕様
| 搭載対象LP | SELOP08C12F-S81 シリーズ |
|---|---|
| 外形寸法 | W474mm x D547mm x H1381mm（ロードポート） |
| W455mm x D300mm x H432mm（チルト式200mmOCA） | |
| W430mm x D315mm x H373mm（平置き式200mmOCA） | |
| 重量 | 65kg（LP） |
| 13.2kg（チルト式200mmOCA） | |
| 8.5kg（平置き式200mmOCA） |
| 200mmウェーハ対応時 | 300mmウェーハ対応時 | |
|---|---|---|
| 適用キャリア | 200mm25枚 カセット （SEMI 規格準拠品） |
300mm25枚FOUP （SEMI 規格準拠品） |
| 動作サイクル | 開動作：11秒（マッピング動作含む）、 閉動作：7秒（マッピング動作不含） |
開動作：12秒（マッピング動作含む）、 閉動作：9秒（マッピング動作不含） |
| ドア保持 | 真空吸着方式 | 真空吸着方式 |
| 検出機構 | ①カセット正常載置 ②ステージ正常位置検出 ③ウェーハマッピング ④ウェーハ飛出し（1段階） ⑤手挟み防止 ⑥首挟み防止 |
①FOUP有無 ②FOUP正常載置 ③FOUPドア確認 ④ウェーハマッピング ⑤ウェーハ飛出し（3段階） ⑥手挟み防止 ⑦首挟み防止 |
| 標準機能 | ①マッピング機能 ②コントローラ内蔵 ③キャリアベース位置調整機構 ④BOLTS面位置調整機構 |
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| ⑤カセット横滑り防止機構 ⑥300mmFOUP対応インフォパッドピンホルダ ⑦ウェーハ水平位置でのステージ固定機構 ⑧ステージセット時、ドック時のウェーハ振動防止機能 |
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| ユーティリティ | ①電源：DC24V 5A ②エア：0.45～0.6 MPa 20 L/min ③真空エア：-40kPa 5L/min |
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| インターフェース | 通信 RS232C | |
| オプション | ①ユーザー特定インジケータパネル ②ユーザー特定スイッチパネル ③AC200V対応 ④FOSB※1対応 ⑤Ethernet※2通信仕様 ⑥E84対応 ⑦E84,CID通信対応（300mmFOUPのみ） ⑧フレームパッキン仕様 |
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1. 使用するFOSBによって、開閉特性が異なります。詳細はお問い合せ下さい。
2. Ethernetは、米国Xerox Corp.の登録商標です。
外形寸法図
