300mm FOUP対応ロードポート SELOP-8
N2パージ
300mm
半導体製造のさらなる微細化(1xnm)をサポートする次世代モデル
Smart SELOP-8 シリーズ
独自機構の採用でよりスムーズなFOUPドア開閉を実現。
エアー/電動のハイブリッド動作機構により、ドア開閉時の振動を抑制し、パーティクルパフォーマンスを大幅に向上。最新の高気密性FOUPにも対応。
- キャリアベース上でのFOUP N2パージ
対応実績FOUP：ENTEGRIS社 A-300、Spectra対応
（4 purge port タイプ対応） ※ - クリーンなN2を供給
（1）フィルタをパージポート直前に配置し、FOUPへのパーティクル侵入を防止
（2）FOUPの注入口にあるグロメットへノズルを圧着 - 流量計によるN2ガス流量の監視が可能
- MFCによるN2ガス流量のコントロールが可能
- 標準SELOP-8から現地改造にてN2パージ仕様へグレードUP可能
独自の可動ノズル採用により安定したN2パージを実現米国特許取得済み
- ノズル昇降のタイミングをコントロール
キネマチックピン載置位置との干渉を回避。N2パージ非対応のFOUPとの混在運用も可能。 - ノズル圧着強さ調整機能
- ノズル先端取替可能
- ノズル昇降位置確認（センサ）
キャリアベース上のFOUP N2パージ