300mm EFEM
300mm
ミニエンバイロメントシステム
SELMEシリーズ
より高度に、より高効率に半導体テクノロジーをサポート。
- 非吸着／吸着ウェーハハンドリング（クリーンクラス1）
※ウェーハ裏面パーティクル付着を抑制 - 200mmウェーハ、石英ウェーハへの拡張対応可能
（300mm オプション） - 高速、高精度位置決め（±0.05mm）
- N2パージロードポート搭載可能（オプション）
- 耐食仕様への対応可能（オプション）
300mm ウェーハ搬送ロボット
クリーン搬送システム（半導体）
300mm
ミニエンバイロメントシステム
SELMEシリーズ
300mm ウェーハ搬送ロボット
営業日 平日9:00〜17:30 土日祝除く
製品に関するご質問・お問い合わせなど、お気軽にご連絡ください。
東京本社 クリーン搬送システム営業部（半導体）
TEL 03-5473-1838
FAX 03-5473-1847