SEMICON CHINA 2025
2025年2月26日（水）
中国、上海
会期
2025年3月26日（水）〜28日（金） 3日間
会場
上海新国際博覧センター（中国、上海）
ブース位置：E7ホール No.7529
出展製品
・Panel FOUP ロードポート
・Tape Frame FOUP ロードポート
・200mm SMIF ロードポート
・300/200mm 自動切換え機能搭載ロードポート
・N2 Purge 300mm FOUP ロードポート
・300mm EFEM
・ダイレクトドライブモータ
Panel FOUP ロードポート
Tape Frame FOUP ロードポート
200mm SMIF ロードポート
300/200mm 自動切換え機能搭載ロードポート
N2 Purge 300mm FOUP ロードポート
300mm EFEM