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半導体

さらなる微細化（1xnm）をサポートする次世代モデル　300mmFOUP対応ロードポート　Smart Selop-8 シリーズ
独自機構の採用でよりスムーズなFOUPドア開閉を実現。エアー／電動のハイブリッド動作機構により、ドア開閉時の振動を抑制し、パーティクルパフォーマンスを大幅に向上。最新の高気密性FOUPにも対応。
特 長

独自の可動ノズル採用により安定したN2パージを実現 特許出願中

ノズル昇降のタイミングをコントロール
キネマチックピン載置位置との干渉を回避
N2パージ非対応のFOUPとの混在運用も可能
ノズル圧着強さ調整機能
ノズル先端取替可能
ノズル昇降位置確認（センサ）
1. キャリアベース上でのFOUP N2パージ
対応実績FOUP：ENTEGRIS社 A-300、Spectra対応
（4 purge port タイプ対応） ※
2. クリーンなN2を供給
(１) フィルタをパージポート直前に配置し、FOUPへのパーティクル侵入を防止
(２) FOUPの注入口にあるグロメットへノズルを圧着
3. 流量計によるN2ガス流量の監視が可能
4. MFCによるN2ガス流量のコントロールが可能
5. 標準SELOP-8から現地改造にてN2パージ仕様へグレードUP可能

※キャリアベース上のFOUP N2パージ
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