クリーン搬送機器(半導体)
ノズル昇降のタイミングをコントロール
キネマチックピン載置位置との干渉を回避
N
2
パージ非対応のFOUPとの混在運用も可能
ノズル圧着強さ調整機能
ノズル先端取替可能
ノズル昇降位置確認(センサ)
キャリアベース上でのFOUP N
2
パージ
対応実績FOUP:ENTEGRIS社 A-300、Spectra対応
(4 purge port タイプ対応)
※
クリーンなN
2
を供給
(1)
フィルタをパージポート直前に配置し、FOUPへのパーティクル侵入を防止
(2)
FOUPの注入口にあるグロメットへノズルを圧着
流量計によるN
2
ガス流量の監視が可能
MFCによるN
2
ガス流量のコントロールが可能
標準SELOP-8から現地改造にてN
2
パージ仕様へグレードUP可能
※
キャリアベース上のFOUP N
2
パージ
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