基板自動搬送装置（EFEM）
LED基板
パワー半導体基板
LED/パワー半導体基板の大型化ニーズに対応
新型搬送ユニット登場！
- 6/8インチ基板対応
- カセット〜プロセス処理室間での基板セット&基板輸送の自動化により、省力化を実現
- 高清浄度・N2雰囲気内（N2循環による）でのハンドリングにより、高歩留りを実現
（異物・水分・酵素等のコンタミ低減） - プロセス処理後の高温基板もハンドリング可能にする事で、高生産性を実現
従来方法
基板自動搬送装置（EFEM）
クリーン搬送システム（半導体）
LED基板
パワー半導体基板
LED/パワー半導体基板の大型化ニーズに対応
営業日 平日9:00〜17:30 土日祝除く
製品に関するご質問・お問い合わせなど、お気軽にご連絡ください。
東京本社 クリーン搬送システム営業部（半導体）
TEL 03-5473-1838
FAX 03-5473-1847