基板自動搬送装置(EFEM)
LED基板
パワー半導体基板
LED/パワー半導体基板の大型化ニーズに対応
新型搬送ユニット登場!
![](https://www.sinfo-t.jp/application/files/2016/7461/8422/led_p-efem-product.jpg)
- 6/8インチ基板対応
- カセット〜プロセス処理室間での基板セット&基板輸送の自動化により、省力化を実現
- 高清浄度・N2雰囲気内(N2循環による)でのハンドリングにより、高歩留りを実現
(異物・水分・酵素等のコンタミ低減) - プロセス処理後の高温基板もハンドリング可能にする事で、高生産性を実現
![](https://www.sinfo-t.jp/application/files/3516/5883/5989/led_p-efem-fig-2.jpg)
従来方法
![](https://www.sinfo-t.jp/application/files/8016/5883/5990/led_p-efem-fig-3.jpg)
基板自動搬送装置(EFEM)
![](https://www.sinfo-t.jp/application/files/6116/5883/5990/led_p-efem-fig-4.jpg)
クリーン搬送システム(半導体)
LED基板
パワー半導体基板
LED/パワー半導体基板の大型化ニーズに対応
営業日 平日9:00〜17:30 土日祝除く
製品に関するご質問・お問い合わせなど、お気軽にご連絡ください。
東京本社 クリーン搬送システム営業部(半導体)
TEL 03-5473-1838
FAX 03-5473-1847