ソーター
300mm
高効率で安定した半導体ウェーハの移載サポート。
- 高信頼性、出荷実績No.1のロードポートSELOPシリーズを搭載
N2パージ仕様ロードポート搭載可能（オプション） - パーティクルレス
独自のエアフローコントロール及びステーショナリーロボットを採用 - 高スループット
- 省フットプリント
- SEMIスタンダードソフトウェア（GEM300対応）
- 豊富なバリエーション（2x2、3x3、4x4ポート）
オプション
- 基板反転機構
- エリアセンサー
- EFEM内照明
- 真空吸着対応
- E84インターフェイス
- シグナルタワー
- イオナイザー
