響いてこそ技術 SINFONIA

お問い合わせ

クリーン搬送機器(半導体)

300mm N2 EFEMnew

EFEM内のOx/H2Oをコントロールし、最先端プロセスのニーズに応える
特 長
1. 大気からN2へ高効率な置換を実現
高効率な低酸素濃度の制御をミニエンバイロメント内で実現
100ppm以下の酸素濃度を100LPM以下のN2ガス消費量で維持するN2ガス循環システムを採用
2. 微差圧の自動制御
10Paゲージ+/- 3.5
3. 従来型EFEMと同スペースに設置可能
(1) 従来のEFEMと変わらないフットプリントで
既存標準EFEMとの置き換えが可能
(2) 据え置き型アームロボットにより、
最大4LPにアクセス
(3) 従来型EFEM同様、側面にメンテナンス窓を
用意(追加オプションにより、サイドポジションの使用が可能)
4. EFEM内部環境・分析モニタ
デジタルアナライザを使用したモニタリングが可能
5. 安全操作
N2ガスを安全にAirに交換
※S2、S8、CE準拠
n2efem
戻る