クリーン搬送機器（半導体）
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大気からN2へ高効率な置換を実現 |
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高効率な低酸素濃度の制御をミニエンバイロメント内で実現
100ppm以下の酸素濃度を100LPM以下のN2ガス消費量で維持するN2ガス循環システムを採用 |
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従来型EFEMと同スペースに設置可能 |
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(１) |
従来のEFEMと変わらないフットプリントで
既存標準EFEMとの置き換えが可能 |
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(２) |
据え置き型アームロボットにより、
最大4LPにアクセス |
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(３) |
従来型EFEM同様、側面にメンテナンス窓を
用意（追加オプションにより、サイドポジションの使用が可能） |
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EFEM内部環境・分析モニタ |
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デジタルアナライザを使用したモニタリングが可能 |
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安全操作 |
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N2ガスを安全にAirに交換
※S2、S8、CE準拠 |
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