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クリーン搬送機器(半導体)

後工程のオートメーション化をサポートする ダイシングフレーム対応ロードポート

特長

高い信頼性と豊富な実績
13枚Slot FOUP、オープンカセットに適用可能
キャリアベース上のセンサーでキャリア種類判別可能
Mapper搭載可能(オプション)
CID搭載可能
ダイシングフレーム対応ロードボード

対応キャリア

ダイシングフレーム対応FOUP(13枚Slot)
ダイシングフレーム対応オープンカセット(13枚Slot)
※13枚Slot以上のCarrier対応については応相談