クリーン搬送システム(半導体)

Tape Frame FOUP 対応ロードポート

380mmテープフレーム

NEW

後工程での歩留まり向上をサポート

Smart SELOP シリーズ

パーティクルフリー、繰り返し動作での高耐久性など半導体製造装置に要求されるスペックに対応。

  1. 高い信頼性と豊富な実績
    300mmロードポートは全世界の前工程ラインにて稼働中
  2. パーティクルフリー
    (1)独自のパーティクル巻き込み技術採用
    (2)低振動技術を採用
  3. SEMI規格対応(E184対応)
  4. CID搭載可能
    ※オプション
  5. アダプタ搭載でオープンカセット対応可能
    ※オプション
  6. N2パージ対応可能
    ※オプション
  7. 台湾・韓国向け、SEMI E63対応など
    様々なTape Frame FOUPにも対応

    ※詳細についてはお問い合わせください。

対応キャリア

  • 380mmテープフレーム13枚、25枚収納

外形寸法図

SEMI規格対応(E184対応)

単位:mm

Information

お電話でのお問い合わせ

営業日 平日9:00〜17:30 土日祝除く

製品に関するご質問・お問い合わせなど、お気軽にご連絡ください。

東京本社 クリーン搬送システム営業部(半導体)
TEL 03-5473-1838
FAX 03-5473-1847