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クリーン搬送機器(半導体)

Tape Frame FOUP対応ロードポート Smart SELOP Series 後工程での歩留まり向上をサポートする

パーティクルフリー、繰り返し動作での高耐久性など
半導体製造装置に要求されるスペックに対応

特長

高い信頼性と豊富な実績
300mmロードポートは全世界の前工程ラインにて稼働中
パーティクルフリー
① 独自のパーティクル巻き込み技術採用
② 低振動技術を採用
SEMI規格対応
CID搭載可能
※オプション
アダプタ搭載でオープンカセット対応可能
※オプション
N2パージ対応可能
※オプション
様々なTape Frame FOUPにも対応
※詳細についてはお問い合わせください。
ダイシングフレーム対応ロードボード

対応キャリア

380mmテープフレーム13枚、25枚収納