Panel FOUP対応 ロードポート
250x250mm
300x300mm
510x515mm
600x600mm
Smart SELOP シリーズ
大型基板次世代実装技術（FOPLP）をサポート
- 高精度マッピング機能付き
- 前工程での高い信頼性と豊富な実績
- パーティクルフリー
- SEMI規格対応
- 各種基板サイズに対応
250×250mm
300×300mm
510×515mm
600×600mm
※詳細についてはお問い合わせください。
仕様
| 型式 | SELOP20F12-SP | SELOP24F12-SP |
|---|---|---|
| 対象 ワーク |
515 × 510 mm PANEL | 600 × 600 mm PANEL |
| 外形寸法 | W793 × D739 × H1433 （㎜） | W793 × D810 × H1433 （㎜） |
| 本体重量 | 140 kg | 150 kg |
| 動作 サイクル |
PANEL 6枚/12枚 FOUP（SEMI E-181規格準拠品） | |
| ドア保持 | 開動作:20秒以下（マッピング動作含む） 閉動作:15秒以下（マッピング動作不含） |
|
| 位置決め精度 | 真空吸着方式 | |
| 適用 キャリア |
FOUP前後軸:±0.1㎜､FOUPドア昇降軸:±0.1㎜ | |
| 検出機能 | ①FOUP有無 ②FOUP正常戴置 ③FOUPドア確認 ④ウェーハ･マッピング ⑤ウエーハ飛出 ⑥手挟み防止 | |
| 機 構 | ①ドア動作（昇降･開閉）・ウエーハ・マッピング動作:ステッピングモータ・タイミングベルト ②クランプ･ドック･ラッチキー:エアシリンダ | |
| 標準機能 | ①マッピング機能 ②コントローラ内蔵 ③キャリアベースのアンドック位置調整機構 ④BOLTS面位置調整機構 ⑤自立・搬送キャスタ ⑥Ethernet※ 通信仕様 | |
| ユーティリティ | ①電源:DC24V 5A ②エア:0.45～0.6MPa 10L/min ③真空エア:-60kPa 5L/min | |
| インター フェース |
通信 RS232C, Ethernet※ TCP/IP | |
| オプション | ①ユーザー特定インジケータパネル ②ユーザー特定スイッチパネル ③キャリアIDリーダ ④インフォパッドA,B,C,D,E,F（ハードピンandセンサー） ⑤光IO ⑥マッピングレス対応 ⑦AC200V対応 ⑧E84対応 ⑨E84,CID通信対応 ⑩BOLTS取付面へのパッキン貼付 ⑪N₂パージ対応 | |
※詳細についてはお問い合わせください。
※Ethernetは、米国Xerox Corp.の登録商標です。