基板自動搬送装置（EFEM）
LED基板
パワー半導体基板
LED/パワー半導体基板の大型化ニーズに対応
新型搬送ユニット登場！
- 6/8インチ基板対応
- カセット〜プロセス処理室間での基板セット&基板輸送の自動化により、省力化を実現
- 高清浄度・N2雰囲気内（N2循環による）でのハンドリングにより、高歩留りを実現
（異物・水分・酵素等のコンタミ低減） - プロセス処理後の高温基板もハンドリング可能にする事で、高生産性を実現
従来方法
基板自動搬送装置（EFEM）
各種EFEMのご紹介
シンフォニアでは6インチの他、8インチやTape Frame対応など、様々なEFEMをご用意しています。
製品詳細については、各製品ページをご参照いただくか、お電話、またはフォームにてお問い合わせください。
300mm EFEM
300mm N2 EFEM
Tape Frame Wafer EFEM
300mm Sorter