300mm EFEM
300mm
ミニエンバイロメントシステム
SELMEシリーズ
より高度に、より高効率に半導体テクノロジーをサポート。
- 非吸着／吸着ウェーハハンドリング（クリーンクラス1）
※ウェーハ裏面パーティクル付着を抑制 - 200mmウェーハ、石英ウェーハへの拡張対応可能
（300mm オプション） - 高速、高精度位置決め（±0.05mm）
- N2パージロードポート搭載可能（オプション）
- 耐食仕様への対応可能（オプション）
300mm ウェーハ搬送ロボット
クリーン搬送システム（半導体）
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東京本社 クリーン搬送システム営業部（半導体）
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