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半導体

次世代の品質向上(12nm, 7/8nm微細化)に貢献 N2パージ300mmFOUP対応ロードポート Smart SELOP-7-Nシリーズ

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ウェーハ間クロスコンタミ防止 ウェーハ表面酸化防止 ロードポートでのN2パージにより迅速なFOUP内ウェーハ管理を実現
特 長

独自の可動ノズル採用により安定したN2パージを実現 特許出願中

ノズル昇降のタイミングをコントロール
キネマチックピン載置位置との干渉を回避
N2パージ非対応のFOUPとの混在運用も可能
ノズル圧着強さ調整機能
ノズル昇降位置確認(センサ)
ノズル先端取替可能
1. キャリアベース上でのFOUP N2パージ
対応実績FOUP:ENTEGRIS社 A-300、Spectra対応
(4 purge port タイプ対応) ※1
2. パージポートからのパーティクル侵入を防止
(1) INLETのポート側にガスフィルタ搭載 ※2
(2) FOUPの注入口にあるグロメットへノズルを圧着
3. 流量計によるN2ガス流量の監視が可能
4. MFCによるN2ガス流量のコントロールが可能
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