2009年4月1日、シンフォニアテクノロジーは、(旧)神鋼電機より社名を変更いたしました。
ノズル昇降のタイミングをコントロール
キネマチックピン載置位置との干渉を回避
N
2
パージ非対応のFOUPとの混在運用も可能
ノズル圧着強さ調整機能
ノズル昇降正常位置確認（センサ）
ノズル先端取替可能
キャリアベース上でのFOUP N
2
パージ
対応実績FOUP：ENTEGRIS社A-300、Spectra対応
（4 purge port タイプ対応）
流量計によるN
2
ガス流量の監視が可能
パージポートからのパーティクル侵入を防止
(１)
INLETのポート側にガスフィルタ搭載
(２)
FOUPの注入口にあるグロメットへノズルを圧着
