Products
for Front-End Process
300mm FOUP対応ロードポート SELOP-8
N2パージ
300mm
自動切り替え機能搭載ロードポート SELOP-8
300mm
200mm
SMIF ロードポート
200mm
300mm N2 EFEM
N2パージ
300mm
300mm EFEM
300mm
300mm ソーター
300mm
基板自動搬送装置(EFEM)
LED基板
パワー半導体基板
for Back-End Process
Tape Frame FOUP 対応ロードポート
380mmテープフレーム
NEW
Tape Frame ウェーハ EFEM
380mm テープフレーム