Tape Frame FOUP 対応ロードポート
380mmテープフレーム
後工程での歩留まり向上をサポート
Smart SELOP シリーズ
パーティクルフリー、繰り返し動作での高耐久性など半導体製造装置に要求されるスペックに対応。
- 高い信頼性と豊富な実績
300mmロードポートは全世界の前工程ラインにて稼働中 - パーティクルフリー
(１)独自のパーティクル巻き込み技術採用
(２)低振動技術を採用 - SEMI規格対応（E199/E184対応）
- CID搭載可能
※オプション - アダプタ搭載でオープンカセット対応可能
※オプション - N2パージ対応可能
※オプション - 台湾・韓国向け、SEMI E63対応など
様々なTape Frame FOUPにも対応
※詳細についてはお問い合わせください。
対応キャリア
- 380mmテープフレーム13枚、25枚収納