SEMICON JAPAN
2026年11月9日（月）
東京
会期
2026年12月9日（水）～11日（金）3日間
会場
東京ビッグサイト
ブース位置：東3ホール No.3618
出展製品
・[New] 300mm FOUP ロードポート
・300/200mm 自動切り替え機能搭載ロードポート
・200mm SMIF ロードポート
・300mm EFEM
・300mm 真空搬送ロボット
・Tape Frame FOUP ロードポート
・Panel FOUP ロードポート 310x310mm、510x515mm
・Panel アライナ
・基板搬送AMRシステム
300mm FOUP ロードポート
300/200mm 自動切り替え機能搭載ロードポート
200mm SMIF ロードポート
Panel FOUP ロードポート（310x310mm）
Panel FOUP ロードポート（510x515mm）
基盤搬送AMRシステム
300mm EFEM
Tape Frame FOUP ロードポート