SEMICON CHINA
2026年2月25日（水）
中国
会期
2026年3月25日（水）〜27日（金） 3日間
会場
上海新国際博覧センター（中国、上海）
ブース位置：E7ホール 7143
出展製品
・Tape Frame FOUPロードポート
・300mm EFEM
・N2 Purge 300mm FOUPロードポート
・300/200mm 自動切換え機能搭載ロードポート
・200mm SMIFロードポート
・ダイレクトドライブモータ
Tape Frame FOUP ロードポート
300mm EFEM
300/200mm 自動切換え機能搭載ロードポート
SMIF ロードポート
N2 Purge 300mm FOUP ロードポート
ダイレクトドライブモータ