SEMICON CHINA
2024年2月21日（水）
会期
2024年3月20日（水）〜22日（金）
会場
上海新国際博覧センター（中国、上海）
今回は、中国で初めて3ポートの「EFEM」展示を行いました。さらにSEMICON JAPAN 2023においても展示を行ったパワー半導体用の「SMIF ロードポート」や後工程向けの「Tape Frame FOUP ロードポート」など、中国市場でニーズが高い製品を揃え出展いたしました。さらにN₂流量制御により効率的な装置内循環で微細化を支える「N₂ EFEM」をCG映像でご紹介、多くのお客様にご来場いただきました。
200mm SMIF ロードポート
N2 Purge 300mm FOUP ロードポート
300/200mm 自動切り替え機能搭載ロードポート
Tape Frame FOUP ロードポート
300mm EFEM