モーションシステム

半導体製造機器 特殊対応例 真空搬送ロボット

PickUp

ダイレクトドライブモータ 特殊対応例

ダイレクトドライブ(DD)モータ駆動

  • アーム、旋回軸駆動に高精度で制御が可能なDDモータを採用
  • DDモータは当社が長年積み上げてきたモーションシステム技術を結集
  • 内製減速機、タイミングベルトレスにより、高精度位置決め、低振動を実現

中空タイプDDモータでシンプルな駆動ユニットを実現

  • DDモータをスタック
  • 各駆動軸をDDモータに直結
  • 各駆動軸を同軸配置
当社従来機比と比較して振動が減少。
当社従来機比と比較してウェーハの位置補正精度が向上。

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東京本社 モーションシステム営業部
(HDモータ、小形DCモータ)
TEL 03-5473-1827
FAX 03-5473-1845

大阪支社 モーションシステム営業部
(HDモータ、小形DCモータ)
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FAX 06-6365-1968

名古屋支社 モーションシステム営業部
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FAX 052-581-2715