クリーン搬送システム（半導体）
微細化・高付加価値化が進む半導体製造を支える豊富なラインナップ
シンフォニアのクリーン搬送機器は、半導体製造・搬送工程において世界のトップブランドとして信頼を集めています。トップシェアを誇るロードポートでは独自のN2パージ機構を持つ次世代モデルを展開。さらに真空搬送から大気搬送（EFEMなど）、安定したウェーハ移載をサポートするソーターまで多様な搬送システムソリューションをラインナップし、あらゆるニーズに応えています。
主要製品
N2 EFEM
SELOP-8
ダイシングフレーム対応
ロードポート