クリーン搬送システム
次世代の半導体製造をサポートするクリーン搬送技術
AIの発達など、高性能化が求められている半導体製造において重要なのは、製造装置内部のクリーン環境です。シンフォニアの半導体搬送システムは製造装置が受け取るまでにコンタミを極限までおさえ、一層の歩留まり向上が求められる半導体業界において豊富な実績を持っています。半導体のさらなる高精度化に対応するための、次世代の製造プロセスに対応する製品開発を進め、半導体業界の発展に貢献しています。
主要製品
N2 EFEM
SELOP-8
Tape Frame FOUP（ダイシングフレーム）対応ロードポート