一般産業用アクティブ制振装置
カスタム対応品
振動の収束時間を1/20に短縮！ どんな機器にも後付け可能！
- 共振する機器類に取り付ける事で振動を低減
- 既存の運転中の機器類にも容易に取付け可能
- レシプロモータ採用で、後塵・メカロスが少なく、半導体関連装置などのクリーン環境にも適用可能
用途
ロボットアームやマウンタ装置の制振及び位置整定時間の短縮
露光装置など、半導体関連機器やライン監視・画像処理カメラなどの振動抑制
半導体用搬送車（AGV）や無人搬送車の荷台部の制振
プラント配管類の振動抑制
原理
対象機器に取り付けたおもりの振動により、機器の振動エネルギーを吸収します。アクティブ制振装置は、レシプロモータがおもりを支えるばねやダンパの役割を行います。このため、詳細なばねやダンパの設計・調整が不要となり、コントローラの調整で最適な制振を実現します。
制振効果例（アーム形装置移動時の振動）
