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カスタム対応品 一般産業用アクティブ制振装置 振動の収束時間を1/20に短縮!どんな機器にも後付け可能!
特長

  • 共振する機器類に取り付ける事で振動を低減
  • 既存の運転中の機器類にも容易に取付け可能
  • レシプロモータ採用で、後塵・メカロスが少なく、半導体関連装置などのクリーン環境にも適用可能

用途

  • ロボットアームやマウンタ装置の制振及び位置整定時間の短縮
  • 露光装置など、半導体関連機器やライン監視・画像処理カメラなどの振動抑制
  • 半導体用搬送車(AGV)や無人搬送車の荷台部の制振
  • プラント配管類の振動抑制

原理
対象機器に取り付けたおもりの振動により、機器の振動エネルギーを吸収します。アクティブ制振装置は、レシプロモータがおもりを支えるばねやダンパの役割を行います。このため、詳細なばねやダンパの設計・調整が不要となり、コントローラの調整で最適な制振を実現します。
図1
 
アクティブ制御装置の構成

制御効果例(アーム形装置移動時の振動) ムービーはこちら


詳細については別途お問い合わせください。
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