パネル搬送AMRシステム
600mm
後工程/先端後工程向け 自動搬送システム
各種キャリアの自動搬送、自動移載により省人化
最適な配車/ルート探索により搬送時間を短縮
規模に応じた管理システムが構築可能（MES接続可）
特長・機能
- PANEL FOUP、100kgまでの各種キャリアを搬送・移載可能
- 管理システム(MCS)は、大規模（最大稼働台数200台）対応可能
- ガイド不要で導入やレイアウト変更が容易
- 横行斜行可能な全方位走行性能
- 振動0.5G未満
- 左右両側移載が可能な移載装置搭載
- 各種安全センサで人との共存作業可能
- クリーン対応（ISO Class 5）
- 自動充電機能搭載
- 安全基準JIS D 6802に対応
仕様
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項目 |
仕様・特徴 |
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管理システム |
搬送・AMR・FOUP 管理 |
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搬送対象物 |
・600×600mm PANEL FOUP ・510×515mm PANEL FOUP ＊ハンドアタッチメント交換によりその他サイズも対応可能 ・ SEMI E 181 |
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最大搬送質量 |
100kg |
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移載対象 |
ロードポート、ストッカー、リフター |
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登録地点数 |
制限なし |
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設置工事 |
建屋へのガイド設置工事不要 |
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最大稼働台数 |
200 台 |
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走行路面 |
グレーチング、塗床 |
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項目 |
仕様・特徴 |
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クリーン度 |
クラス100(Fed. Std. 209E) Class 5 (ISO14644-1) |
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外形寸法（D×W×H） |
W860mm×D1,600mm×H1,900mm |
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走行速度 |
3.6km/h（積載時） |
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位置決め精度 |
±10 ㎜、±5° |
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移載精度 |
±5 ㎜、±1° |
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充電方式 |
自動コネクタ接続式 |
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安全装置 |
非常停止、物体・人検知、行先表示、テープスイッチ、ウインカー、シグナルタワー、エリアセンサ、走行メロディ |
