クリーン搬送システム(半導体)

300mm EFEM

300mm

ミニエンバイロメントシステム

SELMEシリーズ

より高度に、より高効率に半導体テクノロジーをサポート。

  1. 非吸着/吸着ウェーハハンドリング(クリーンクラス1)
    ※ウェーハ裏面パーティクル付着を抑制
  2. 200mmウェーハ、石英ウェーハへの拡張対応可能
    (300mm オプション)
  3. 高速、高精度位置決め(±0.05mm)
  4. N2パージロードポート搭載可能(オプション)
  5. 耐食仕様への対応可能(オプション)

300mm ウェーハ搬送ロボット

Information

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営業日 平日9:00〜17:30 土日祝除く

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東京本社 クリーン搬送システム営業部(半導体)
TEL 03-5473-1838
FAX 03-5473-1847