传动系统

支持FPD(平板显示器)搬运工程的先进的
驱动器技术。

HD线性马达

组合型/内装型

HDL-S系列/HLRV·HLRA系列 高精度地搬送重物中发挥超群大推力

  • 特长
  • 用途
  • 推力特性
  • 结构比较
  • 标准式样

特长

大推力 实现了最大推力,达到1700N的标准系列。
低散热 由于能够连续输出的推力大,因此散热低。可放心用于高速运转设备。
结构紧凑 平均面积的推力大,实现了大幅小型化。
高精度 采用光学编码器,可高精度定位。
无磁铁定子 采取独立的磁路,在定子一侧未设永久电磁铁。
(请参考P2《线性马达的构造和特长》)

用途

【用途示例】
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装载组件

  • 大型重物的负荷搬运、定位··· FPD制造设备
  • 精密定位 ··· 半导体制造设备
  • 高频度运转 ··· 切片机、倒装焊接机等

推力特性

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结构比较

HD线性马达
转子 在叠片组构成的间隙里放入狭缝形状的
永久磁铁,再装上线圈。
定子 配置叠片组,沟槽部分用树脂模压而成。
永久磁铁 没有露到外面。
PM线性马达
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转子 叠片组上安装线圈。
定子 在定子板上设有永久磁铁,其长度与行程大小相同。
永久磁铁 露出。
空心型线性马达
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转子 没有铁心,用树脂只把线圈模压在一起。
定子 在定子板上设有永久磁铁,其长度与行程大小相同,定子板的结构是两块板相对结合而成。
永久磁铁 露出。

标准式样

组合型
项目/型号 ※HDL-S030S HDL-S060S HDL-S120S HDL-S180S
最大推力 (N) 280 580 1150 1700
连续推力 (N) 173 350 700 1030
最大电流 (Arms) 10.5 17 34 38
最大速度 (m/s) 0.2 / 1 / 2
传感器分辨率 (μm) 0.1 / 0.5 / 1
动子重量 (kg) 4.2 9.5 17 37
定子重量 (kg) 37 52

※无磁极传感器的类型。

内装型
项目/型号 HLRV-32013 HLRV-63026 HLRA-81052 HLRA-81105 HLRA-81155
最大推力 (N) 140 280 580 1150 1700
连续推力 (N) 86 173 350 700 1030
最大电流 (Arms) 4.7 10.5 17 34 38
最大速度 (m/s) 2
动子重量 (kg) 1.5 2.1 4.5 8 16
定子重量 请参考P.7~8的外形尺寸图。
使用环境(全机种共通)
环境温度 运转时:0~40℃ 保存时:−15~+70℃
湿度 80%RH以下,无结露
环境条件 无腐蚀性气体和尘埃(室内使用)
振动 9.8m/S2以下
海拔 1,000m以下