半导体设备

300mm FOUP Load Port
Smart SELOP-7(SELOP12F25-S7系列)

高可靠性、销量No.1!
采用大型指示器,一台即搞定所有Fab.

特长

300mm FOUP载入口 Smart SELOP-7(SELOP12F25-S7系列)

无颗粒

采用独创的防颗粒侵入技术

高可靠性

(1)高生产率及丰富的出货业绩
(2)活跃在全球的300mm半导体工厂
(3)MCBF实现870,000次循环

广泛的兼容性

(1)应对各种FOUP(Entegris、Shin-Etsu、Miraial等)
(2)RS232指令操控
(3)选用适配器(选配件)应对200mm晶元
(4)可进行E84、CID通信

采用自己独特的方式

(1)高精度映射(晶元有/无、双槽、交叉)
(2)可应对薄片晶元

提高维护性

(1)基于PC的支持工具软件
(2)全树脂外包装,防止划伤/脏污
(3)前面操作,方便维护
(4)通信记录保存功能

安装方法简便易行

(1)BOLTS面位置调整功能
(2)OHT解锁位置调整功能
(3)标配独立搬运脚轮

大型指示器

大型指示器,显而易见

短周期亦可应对