为次时代品质提升（12nm, 7/8nm）做出贡献
氮气吹净300mm FOUP Load Port
Smart SELOP-7-N系列
防止晶圆间交叉污染 防止晶圆表面氧化
通过载入口处的氮气吹净，实现迅速对存取过程中FOUP内晶圆的管理
- 控制喷嘴升降时机
- 避免和运动销载入位置的干扰
- 亦可与氮气吹净不匹配的FOUP混用
- 调节喷嘴结合强度功能
- 可更换喷嘴头
- 喷嘴升降位置确认（传感器）
载体基座上的FOUP氮气吹净
- FOUP适用实绩：ENTEGRIS公司A-300及Spectra
（适用4吹净口型号） ※1
防止来自吹净口的颗粒侵入
- (1)进气口侧装载气体过滤器 ※2
- (2)为了向位于FOUP注入口的金属環压接喷嘴
可通过流量计监测氮气气体的流量
可通过MFC控制氮气气体的流量
