实现从空气到氮气的高效转换

实现微环境内高效维持低氧气浓度
采用通过100LPM以下氮气消耗量维持氧气浓度低于100ppm的氮气循环系统

自动控制微差压

10Pa微差压计+/- 3.5

可安装于与传统型号EFEM相同的位置

• (1)与传统型EFEM空间占用相同，可直接更换现有标准EFEM
• (2)可通过固定型机械臂实现最大4LP
• (3)与传统型EFEM相同，侧面设有维护窗（可通过追加选购，定制使用侧面位置）

EFEM内部环境·分析监视器

可使用数字分析器进行监测

安全操作

安全地使用氮气进行空气交换
※按照S2、S8、CE标准进行