适用于6/8英寸基板

通过晶圆盒～制程处理室间的基板设置&基板输送的自动化处理，实现人力的节省

凭借高洁净度、氮气环境内（基于氮气循环）的处理，达到高成品率（降低异物、水分、酶等成分的污染）

制程处理后的高温基板也能加工处理，进而实现高生产性