高可靠性及丰富的业绩

300mmLoad Port运行在全世界的前道生产线

无颗粒(particle free)

(1) 采用独特的粒子夹带技术
(2) 采用低震动技术

符合SEMI标准(E184)

可搭载CID

※选项

搭载适配器可支持Open Cassette

※选项

支持氮气吹扫

※选项

面向台湾地区·韩国、对应SEMI E63标准等各种规格的Tape Frame FOUP亦可对应

※详细情况请咨询