半导体设备

300/200mm自动切换功能 Load Port
Smart SELOP-7 新系列

最适合300mm与200mm晶圆混合生产线

300mm晶圆对应LP仅需装载开放式晶圆盒适配器便可适用于200mm晶圆对应LP!

特长

300/200mm自动切换功能载入口

采用300/200mm两种晶圆尺寸映射功能

采用晶圆防脱出结构

采用晶圆搬送过程中保持适配器门关闭的安全锁功能。

具备自动识别功能

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300mm晶圆FOUP或200mm开放式晶圆盒自动识别功能
载入口参数自动变更及装置识别通知功能

操作流程

1.安装FOUP 2.取下FOUP 3.安装适配器工作台 4.接合连接器 5.打开适配器工作台 6.操作适配器工作台 7.关闭适配器工作台 8.入库适配器工作台