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モーションシステム

ファクトリーオートメーションを支える先進のアクチュエータ技術

HDリニアモータ

ユニットタイプ/ビルトインタイプ

HDL-Sシリーズ/HLRV·HLRAシリーズ 高頻度・高精度 用途に抜群の大推力で応える。

  • 特長
  • 用途
  • 推力特性
  • 構造比較
  • 標準仕様

特長

大推力 最大推力1700Nまでを標準ラインナップ。
低発熱 連続的に出力できる推力が大きいため低発熱。
高頻度運転に安心してお使いいただけます。
コンパクト 対面積あたりの推力が大きく、大幅な小形化を実現。
高精度 光学式エンコーダを採用。高精度な位置決めが可能です。
固定子マグネットレス 独自の磁気回路により、固定子側には永久磁石が配置されていません。

用途

【用途例】
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ローダモジュール

  • 大形・重量物負荷の搬送、位置決め··· FPD製造装置
  • 精密位置決め ··· 半導体製造装置
  • 高頻度運転 ··· チップマウンタ、ボンダなど

推力特性

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構造比較

HDリニアモータ
可動子 積層コアによって形成されたすき間にスリット状の永久磁石が埋め込まれており、巻線が装着されている。
固定子 積層コアのブロックが配置されており、溝部は樹脂にてモールドされている。
永久磁石 表面に出ていない。
PM形リニアモータ
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可動子 積層コアに巻線が装着されている。
固定子 プレート上に板状の永久磁石がストローク分配置されている。
永久磁石 露出している。
コアレス形リニアモータ
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可動子 コアを持たず、巻線のみを樹脂にてモールドしている。
固定子 プレート上に板状の永久磁石がストローク分配置され、そのプレートが2枚向かい合わせにした構造となっている。
永久磁石 露出している。

標準仕様

ユニットタイプ
項目/形式 ※HDL-S030S HDL-S060S HDL-S120S HDL-S180S
最大推力 (N) 280 580 1150 1700
連続推力 (N) 173 350 700 1030
最大電流 (Arms) 10.5 17 34 38
最高速度 (m/s) 0.2 / 1 / 2
センサ分解能 (μm) 0.1 / 0.5 / 1
可動子質量 (kg) 4.2 9.5 17 37
固定子質量 (kg/m) 37 52

※磁極センサレスタイプです。

ビルトインタイプ
項目/形式 HLRV-32013 HLRV-63026 HLRA-81052 HLRA-81105 HLRA-81155
最大推力 (N) 140 280 580 1150 1700
連続推力 (N) 86 173 350 700 1030
最大電流 (Arms) 4.7 10.5 17 34 38
最高速度 (m/s) 2
可動子質量 (kg) 1.5 2.1 4.5 8 16
固定子質量 外形寸法図をご参照ください。
使用環境(全機種共通)
周囲温度 運転時:0~40℃ 保存時:−15~+70℃
湿度 80%RH以下、ただし結露なきこと
雰囲気 腐食性ガス、塵埃なきこと(屋内使用)
振動 9.8m/S2以下
標高 1,000m以下