| ユーティリティ |
AC200V 50/60Hz.単相、1kVA |
| サイクルタイム |
ロード／アンロード：約65秒 |
| 本体重量 |
１）カセット搬送ロボット（X、Z、R、チルト、クランプ軸)
２）SMIFオープナー
３）コントローラー
４）筐体 (ミニエンバイロメント)
５）床位置決め固定金具
６）インターフェイス SEMI E23、E84、ワイヤー方式（オプション） |
| オープナー仕様 |
ポッドの開き方 |
下開きタイプ |
| Port pitch |
340mm （TypeSは330ｍｍ） |
| ポッドクランプ箇所 |
１箇所 |
| センサー |
１）ポッド有無センサ
２）ドア着座センサ
３）カセット有無センサ
４）ウェーハ飛び出しセンサ |
| Load/Unload スイッチ |
各ポートに１つずつ |
| カセットローダー仕様 |
チルト機構 |
チルト角度 90°（１ポジション） |
| Z軸 動作範囲 |
650mm |
| R軸 動作範囲 |
±400mm （TypeNは±460ｍｍ） |
| 位置決め精度 |
±0.5mm |
| オプション |
FFU |
ULPAフィルタ
捕集率（at 0.1～0.2μm） 99.999%
定格風量 3.2m^3/min
外形寸法 415W×292D×170H
取付数 装置幅 900まで １式
1340まで ２式
1340超 ３式 |
| カセット、ターンテーブル |
外形寸法 400W×450D×900H
回転角度 180° |
| CIDリーダ |
CID：ASYST
タグ位置：ポッド右下 |
