| 適 用 |
SEMI規格準拠300mmFOUP |
| 外形寸法 |
W471ｘD590ｘH1376(mm) |
| 本体重量 |
58kｇ |
| 動作サイクル |
16秒（マッピング動作含む）、閉動作：12秒（マッピング動作不含） |
| ドア保持 |
真空吸着方式 |
| 位置決め精度 |
FOUP前後軸：±0.1mm、FOUPドア昇降軸：±0.1mm |
| 検出機能 |
（１）FOUP有無 （２）FOUP正常戴置 （３）FOUPドア確認 （４）ウェーハ・マッピング （５）ウェーハ飛出 （６）手挟み防止 （７）首挟み防止 |
| 機 構 |
（１）ドア動作（昇降・開閉・クランプ・ドック・ラッチキー）：エアシリンダ （２）ウェーハ・マッピング動作：独立駆動ユニット、（昇降）ステッピングモータ、（旋回）エアシリンダ |
| 標準機能 |
（１）マッピング機能 （２）コントローラ内蔵 （３）キャリアベースのアンドック位置調整機構 （４）自立・走行キャスタ内蔵 （５）BOLTS面位置調整機構 |
| ユーティリティ |
（１）電源：DC24V ４A （２）エア：0.45～0.6MPa 40NL/min （３）真空エア：－40KPa
5L/min |
| インターフェース |
通信RS232C |
| オプション |
（１）マッピングレス対応 （２）AC200V対応 |
