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半導体

さらなる微細化(1xnm)をサポートする次世代モデル 300mmFOUP対応ロードポート Smart Selop-8 シリーズ

NEW
独自機構の採用でよりスムーズなFOUPドア開閉を実現。エアー/電動のハイブリッド動作機構により、ドア開閉時の振動を抑制し、パーティクルパフォーマンスを大幅に向上。最新の高気密性FOUPにも対応。
特 長

独自の可動ノズル採用により安定したN2パージを実現 特許出願中

ノズル昇降のタイミングをコントロール
キネマチックピン載置位置との干渉を回避
N2パージ非対応のFOUPとの混在運用も可能
ノズル圧着強さ調整機能
ノズル先端取替可能
ノズル昇降位置確認(センサ)
1. キャリアベース上でのFOUP N2パージ
対応実績FOUP:ENTEGRIS社 A-300、Spectra対応
(4 purge port タイプ対応)
2. クリーンなN2を供給
(1) フィルタをパージポート直前に配置し、FOUPへのパーティクル侵入を防止
(2) FOUPの注入口にあるグロメットへノズルを圧着
3. 流量計によるN2ガス流量の監視が可能
4. MFCによるN2ガス流量のコントロールが可能
5. 標準SELOP-8から現地改造にてN2パージ仕様へグレードUP可能

キャリアベース上のFOUP N2パージ

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