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半導体
300mm FOUP対応 ロードポート Smart SELOP-7(SELOP12F25-S7シリーズ) NEW
高い信頼性、実績No.1! 大形インジケータ採用により、これ1台で全てのFab.対応が可能に!
特 長
パーティクルフリー
独自のパーティクル巻き込み防止技術採用
高い信頼性
(1) 高い生産性と豊富な納入実績
(2) 世界の300mm半導体工場にて活躍
(3) MCBF 870,000サイクル達成
  幅広い互換性
(1) 各種FOUP対応(Entegris, Shin-Etsu, Miraial 他)
(2) RS232Cのコマンド制御
(3) アダプタ(オプション)による200mmウェーハ対応
(4) E84, CID通信が可能
  独自方式の採用
(1) 高精度マッピング(ウェーハ有/無、ダブル、クロス)
(2) 薄ウェーハ対応可能
  メンテナンス性の向上
(1) PCベースの支援ツールソフト
(2) 外装のオール樹脂化によるキズ/汚れ防止
(3) 前面アクセスによるメンテナンス性能
(4) 通信ログ保存機能
  簡単・便利な据付方法
(1) BOLTS面位置調整機構
(2) OHT対応アンドック位置調整機構
(3) 自立・搬送キャスタを標準装備
パーティクルフリー
独自のパーティクル巻き込み防止技術採用
大形インジケータ
大形で見易いインジケータ
短リードタイムへも対応
300mm FOUP LOAD PORT Smart SELOP-7(SELOP12F25-S7シリーズ)
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