 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
(1) |
高い生産性と豊富な納入実績 |
 |
 |
(2) |
世界の300mm半導体工場にて活躍 |
 |
 |
(3) |
MCBF 870,000回転達成 |
 |
| |
 |
 |
 |
 |
(1) |
各種FOUP対応(Entegris, Shin-Etsu, Asyst
他) |
 |
 |
(2) |
RS232Cのコマンド制御 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
高精度マッピング(ウェーハ有/無、ダブル、クロス) |
 |
| |
 |
 |
 |
 |
(1) |
PCベースの支援ツールソフト |
 |
 |
(2) |
外装のオール樹脂化によるキズ/汚れ防止 |
 |
 |
(3) |
前面アクセスによるメンテナンス性向上 |
 |
 |
(4) |
通信ログ機能 |
 |
| |
 |
 |
 |
 |
(1) |
BOLTS面位置調整機構 |
 |
 |
(2) |
OHT対応アンドック位置調整機構 |
 |
 |
(3) |
自立・搬送キャスタを標準装備 |
|
 |
 |
|