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半導体

1台で200mm/150mmの様々なカセットに対応!! マルチカセット対応ロードポート

FFC・フープリング・ウェーハの各種カセット運用を可能に!
特 長

アダプタを交換することによって、200mm/150mmの各種カセットに対応可能(マッピング対応)

300mm FOUP用ロードポートと置換が可能
ソフトを共通化し、センサーによって各種カセットを識別する自動識別機能を搭載

自動識別機能付

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