| 適 用 |
SEMI規格準拠 300mmFOUP |
| 外形寸法 |
W465×D588×H1317 |
| 本体重量 |
52kg |
| 動作サイクル |
FOUP開閉動作 各10秒以内 |
| FOUPドア保持 |
メカラッチ方式（非吸着方式） |
| 位置決め精度 |
FOUP前後軸 ±0.1mm FOUPドア昇降軸 ±0.1mm |
| 電源 |
DC24V±5% |
| エア源 |
圧力：0.45～0.6Mpa 流量：約3リッター/サイクル |
| 検出機能 |
FOUP有無
FOUP正常載置
ウェーハ飛出
手挟み |
| 機 構 |
| ドア昇降 |
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エアシリンダ |
| ドア開閉 |
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エアシリンダ |
| クランプ機構 |
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エアシリンダ |
| ラッチキー |
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エアシリンダ |
| FOUPドック機構 |
|
エアシリンダ |
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| オプション |
各種キャリアIDリーダ 対応可能
PIO取付対応
ユーザー様に応じたインジケータ 色/デザイン
Infopad A・B・C・D
マニュアルスイッチ |
