クリーン搬送システム(半導体)

300mm N2 EFEM

N2パージ

300mm

EFEM内のOx/H2Oをコントロールし、最先端半導体製造プロセスのニーズに応える。

  1. 大気からN2へ高効率な置換を実現
    高効率な低酸素濃度の制御をミニエンバイロメント内で実現
    100ppm以下の酸素濃度を100LPM以下のN2ガス消費量で維持するN2ガス循環システムを採用
  2. 微差圧の自動制御
    10Paゲージ+/- 3.5
  3. 従来型EFEMと同スペースに設置可能
    (1)従来のEFEMと変わらないフットプリントで既存EFEMとの置き換えが可能
    (2)据え置き型アームロボットにより、最大4LPにアクセス
    (3)従来のEFEM同様、側面にメンテナンス窓を用意(追加オプションにより、サイドポジションの使用が可能)
  4. EFEM内部環境・分析モニタ
    EFEM内は、デジタルアナライザを使用したモニタリングが可能
  5. 安全操作
    N2ガスを安全にAirに交換
    ※S2、S8、CE準拠

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東京本社 クリーン搬送システム営業部(半導体)
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