2009年4月1日、シンフォニアテクノロジーは、(旧)神鋼電機より社名を変更いたしました。
ツインアーム式搬送ロボット、カセットステーション、搬送コントローラの3つのモジュールで構成
1200×1300mm以上の大形ガラス基板に対応
独自の振動抑制機構によりガラス基板を高速搬送
STMCコントローラ採用により1台の搬送ロボットで複数処理装置間搬送を実現
カセットステーションに独自のマッピング・アライメントセンシング機構を搭載
