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液晶機器
大形液晶基板対応ツインアーム式ローダモジュール
特長
img ツインアーム式搬送ロボット、カセットステーション、搬送コントローラの3つのモジュールで構成
img 1200×1300mm以上の大形ガラス基板に対応
img 独自の振動抑制機構によりガラス基板を高速搬送
img STMCコントローラ採用により1台の搬送ロボットで複数処理装置間搬送を実現
img カセットステーションに独自のマッピング・アライメントセンシング機構を搭載
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