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液晶機器
DietロボットシステムDirect Interface between Equipment and Transportation port
※1 Diet : Direct Interface between Equipment and Transportation port
従来の搬送部分(コンベヤ)とアーム(ロボット)を一体化した省スペースシステムです。
※ 特許申請中
※2 エア浮上システムについて(特許申請中)
    省エネタイプ
      空気消費量は極小 ⇒(例)G7サイズの浮上で600L/min程度(概算値、条件によって異なります)
空気噴出圧も極小 ⇒ 室内の気流を乱しません
必要空気圧力も極小⇒ ブロアでの対応も可能
    メンテナンスフリー
      基板とは非接触 ⇒ 消耗品がありません、ランニングコストを大幅に軽減
    静電気の帯電量レベルが極小 ⇒ 帯電量は数十ボルト程度(概算値、条件によって異なります)
Dietロボットシステム設備フローの概要
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