シンフォニアテクノロジー

2009年4月1日、シンフォニアテクノロジーは、(旧)神鋼電機より社名を変更いたしました。

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半導体
 
低真空ウェーハ搬送ロボット 200mm 300mm
低価格・高信頼の半導体用低真空搬送ロボット登場!
特 長
稼働率の高い低真空用途向けのローコスト機
原点出し不要のコントローラ一体型
  EFEMとの組合せで搬送系トータルに対応可能
中真空対応、ダブルハンドタイプも対応可能、高真空デュアルアームも開発中
低真空ウェーハ搬送ロボット
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