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半導体

基板自動搬送装置(EFEM) LED/パワー半導体向け

新型搬送ユニット登場! LED/パワー半導体基板の大型化ニーズに対応
特 長
6/8インチ基板対応
カセット〜プロセス処理室間での基板セット&基板輸送の自動化により、
省力化を実現
高清浄度・N2雰囲気内(N2循環による)でのハンドリングにより、
高歩留りを実現(異物・水分・酵素等のコンタミ低減)
プロセス処理後の高温基板もハンドリング可能にする事で、高生産性を実現
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従来方法

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基板自動搬送装置(EFEM)

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