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半導体

450mm, 300mm EFEM ミニエンバイロメントシステム(SELMEシリーズ)

NEW
より高度に、より高効率に半導体テクノロジーをサポート
特 長
1. 非吸着/吸着ウェーハハンドリング
(クリーンクラス1)
※ウェーハ裏面パーティクル付着を抑制
2. 200mmウェーハ、石英ウェーハへの拡張対応可能
(300mm オプション)
3. 高速、高精度位置決め
(±0.05mm)
4. N2パージロードポート搭載可能
(オプション)
5. 3ロードポート標準+増設可能
(オプション)
6. 耐食仕様への対応可能
(オプション)

450mm ウェーハ搬送ロボット

300mm ウェーハ搬送ロボット

450mmFOUP対応ローダモジュール
300mmFOUP対応ローダモジュール
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