シンフォニアテクノロジー

2009年4月1日、シンフォニアテクノロジーは、(旧)神鋼電機より社名を変更いたしました。

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半導体
次世代シリコンウェーハ 450mm FOUP&MAC対応ロードポート(SELOP 18MF25-S1) NEW
ISMIの評価完了。装置メーカー評価開始 N2パージ対応
特 長
  パーティクルフリー
独自のパーティクル巻き込み防止技術採用
  短タクトタイム
マッピング動作の高速化を実現
高い信頼性
(1) ISMIの信頼性テストをパス
(2) 世界の半導体工場で活躍する
300mmSELOPシリーズの技術を継承
幅広い互換性
(1) 各種FOUP、およびMACに対応
(2) Ethernet®対応、RS232Cのコマンド制御
(3) N2パージ対応(オプション)
  独自方式の採用
(1) 高精度マッピング(ウェーハ有/無、ダブル、クロス)
(2) 薄ウェーハ対応可能
高いメンテナンス性
(1) PCベースの支援ツールソフト
(2) 前面アクセスによるメンテナンス性向上
(3) 通信ログ機能
簡単・便利な据付方法
(1) BOLTS面位置調整機構
(2) OHT対応アンドック位置調整機構
(3) 自立・搬送キャスタを標準装備
  大形インジケータ
大形で見易いインジケータ
※Ethernetは、米国Xerox Corp.の登録商標です
評価機の提供に応じます。お問い合わせはこちらから
次世代シリコンウェーハ 450mm FOUP対応ロードポート(SELOP 18F25-S1) 評価機の提供に応じます
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