響いてこそ技術 SINFONIA

お問い合わせ

半導体
次世代シリコンウェーハ 450mm FOUP&MAC対応ロードポート(SELOP 18MF25-S300シリーズ) NEW
300mm LP/N2パージLPで培った 豊富な実績と高い信頼性を兼ね備えたニューモデル450mmLP登場! N2パージ対応 大手NPUに豊富な納入実績を持つオリジナル可動ノズルを採用
特 長
パーティクルフリー
(1) 独自のパーティクル巻き込み防止技術採用
(2) 低振動技術を採用
  短タクトタイム
マッピング動作の高速化を実現
高い信頼性
(1) ISMIの信頼性テストをパス
(2) SEMI規格を超える高いドア開閉繰り返し精度を実現
(3) MCBF60万サイクル達成
幅広い互換性
(1) 各種FOUP、およびMACに対応(Entegris, Goudeng)
(2) Ethernet®対応、RS232Cのコマンド制御
(3) E84, CID通信が可能
  高精度マッピング
高精度マッピンク
(1) PCベースの支援ツールソフト
(2) 前面アクセスによる優れたメンテナンス性能
(3) 通信ログ保存機能
簡単・便利な据付方法
(1) BOLTS面位置調整機構
(2) OHT対応アンドック位置調整機構
(3) 自立・搬送キャスタを標準装備
(4) 1人取り付けが可能な簡易機構採用(約1分で取付可能)
  大形インジケータ
大形で見易いインジケータ
Ethernetは、米国Xerox Corp.の登録商標です
評価機の提供に応じます。お問い合わせはこちらから
次世代シリコンウェーハ 450mm FOUP対応ロードポート(SELOP 18F25-S1) 評価機の提供に応じます
戻る