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(1) |
ISMIの信頼性テストをパス |
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(2) |
世界の半導体工場で活躍する
300mmSELOPシリーズの技術を継承 |
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(1) |
各種FOUP、およびMACに対応 |
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(2) |
Ethernet®対応、RS232Cのコマンド制御 |
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(3) |
N2パージ対応(オプション) |
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(1) |
高精度マッピング(ウェーハ有/無、ダブル、クロス) |
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(2) |
薄ウェーハ対応可能 |
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(1) |
PCベースの支援ツールソフト |
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(2) |
前面アクセスによるメンテナンス性向上 |
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(3) |
通信ログ機能 |
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(1) |
BOLTS面位置調整機構 |
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(2) |
OHT対応アンドック位置調整機構 |
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(3) |
自立・搬送キャスタを標準装備 |
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※Ethernetは、米国Xerox Corp.の登録商標です |
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