シンフォニアテクノロジー

2009年4月1日、シンフォニアテクノロジーは、(旧)神鋼電機より社名を変更いたしました。

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半導体
ミニエンバイロメントシステム 3LP+ EFEM（SELME シリーズ） NEW
世界の300mm Fab.で活躍するシンフォニアテクノロジーのミニエンバイロメントシステム
特 長
非吸着ウェーハ・ハンドリング（クリーンクラス1）
ウェーハ裏面パーティクル付着を抑制
低振動搬送（1.47m/sec2）
Ｘ軸に高力密度リニアパルスモータを採用
  省フットプリント（最小旋回半径245mm）
ロボット最小旋回径を押さえ、コンパクト設計
高速、高精度位置決め（±0.05mm）
独自のウェーハ搬送ロボットを採用
オートキャリブレーション（オプション）
ロボット交換時も再ティーチング不要
  200mmウェーハ、石英ウェーハへの拡張性（オプション）
各種ウェーハ対応に実績
ミニエンバイロメントシステム 3LP+ EFEM（SELME シリーズ）
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