響いてこそ技術 SINFONIA

お問い合わせ

半導体

300/200mm 自動切り換え機能搭載 ロードポート Smart SELOP-7 NEW Series

300mmと200mmの混在ラインに最適!!300mmウェーハ対応LPがオープンカセットアダプタを載せるだけで200mmウェーハ対応LPに!
特 長
photo
200/300mm両対応のマッパーを採用
ウェーハ飛出し防止機構を採用
ウェーハ搬送中はアダプタドアが開かない安全ロック機構を採用

自動識別機能付

photo
300mmウェーハ FOUPもしくは200mmウェーハオープンカセットの自動判別機能
ロードポートのパラメータ自動変更および装置への識別通知機能

オペレーションフロー

photo
戻る